%0 Journal Article
%T 室温下单晶硅显微压痕表面位错组态的TEM观察
%A 张琼
%A 蔡传荣
%A 周海芳
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 2001
%X 采用透射电镜 (TEM )定位观察了室温单晶硅显微压痕表面的微观信息 .发现了为数不少的位错圈、堆垛层错、扩展位错及压杆位错、位错偶等多种组态 .尽管产生的原因各异 ,但均为最终的低能稳定组态 .位错的存在和运动表明常温下单晶硅的压痕缺口附近产生塑性变形 .
%K 单晶硅
%K 位错
%K 塑性变形
%K 显微压痕
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20010250&flag=1