%0 Journal Article %T 基于EFAB工艺的可植入RFID天线设计 %A 郭东辉 %A 陈华君 %J 福州大学学报(自然科学版) %D 2007 %X 可植入RFID目前已被广泛应用于动物识别和生物医学应用等领域,为了保证RFID在植入体内后避免引起动物或人体的不适,小尺寸和高灵敏度是可植入RFID设计的基本要求.首先说明可植入RFID天线设计的基本参数要求,然后介绍一种标准的MEMS工艺--EFAB工艺,并利用该工艺标准的设计规则进行可植入RFID天线的结构设计,最后通过仿真验证该线圈天线符合可植入RFID的工作要求. %K MEMS工艺 %K EFAB工艺 %K 可植入RFID %K 微型线圈天线 %U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20070388&flag=1