%0 Journal Article
%T 力平衡式微加速度计系统特性研究
%A 张扬
%A 曲延滨
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 2008
%X 力平衡式微机速度计是目前硅微速度计领域研究的热点,文章介绍了力平衡式加速度计的闭环检测原理,通过对反馈方式、偏置电压极性等对加速度计性能影响的定性分析,阐述了不同情况下提高加速度计性能所应采取的措施.
%K 力平衡
%K 微加速度计
%K 偏置电压极性
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20080Z1214&flag=1