%0 Journal Article
%T S-枪溅射NiCr薄膜的Monte Carlo模拟
%A 于映
%A 陈跃
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 1998
%X 对Ｓ－枪溅射ＮｉＣｒ合金薄膜过程采用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ法进行了计算模拟．用靶刻蚀图形作为粒子发射频度函数，采用Ｔｈｏｍｐｓｏｎ能量分布，并考虑了环境气体的热运动，得到沉积粒子的能量、入射角度的分布随溅射工艺参数的变化规律．
%K 溅射
%K MonteCarlo模拟
%K 薄膜
%K NiCr合金
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=19980105&flag=1