%0 Journal Article
%T 薄膜镀层的XRD分析
%A 黄清明
%A 俞建长
%A 吴万国
%J 福州大学学报(自然科学版)
%D 2004
%X 利用X射线多晶衍射和计算机模拟的方法对薄膜镀层的物相成分、晶粒度大小、膜厚度、粗糙度、膜密度、吸收系数、折射因子进行测试分析,分析结果表明采用此方法对薄膜进行分析准确度高,速度快.
%K X射线衍射
%K 薄膜
%K 分析
%U http://xbzrb.fzu.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=200406182&flag=1