%0 Journal Article
%T 微加速度传感器的结构刚度分析新法
%A 刘妤
%A 温志渝
%A 杨红韵
%A 张流强
%J 力学与实践
%P 0-0
%D 2006
%R 10.6052/1000-0992-2005-297
%X 微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数.目前多采用有限元分析获取这一参数，但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式.针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器，提出综合运用力法和能量法原理求解其主轴刚度，并通过仿真分析验证了理论推导.理论计算与仿真分析的结果有较好的一致性.该方法可推广应用于具有对称、静不定微结构的加速度传感器的刚度分析.
%K 微加速度传感器
%K 微结构
%K 力法
%K 能量法
%K 主轴刚度
%U http://lxsj.cstam.org.cn/CN/abstract/abstract137309.shtml