%0 Journal Article
%T 多层膜结构热应力计算
%A 刘星
%A 朱嘉琦
%A 韩杰才
%J 力学与实践
%P 453-456
%D 2014
%R 10.6052/1000-0879-14-107
%X 多层保护膜结构在光学窗口等领域有广泛应用，其中膜层中的热应力对系统的功能和可靠性有重要影响.推导了条形多层薄膜结构系统中应力应变的计算方法，并针对薄膜厚度远小于基底厚度的薄膜结构计算进行了相应的简化，得到了其一阶近似以及零阶近似应力的计算公式.采用此公式对ZnS-Y2O3-SiO2双层膜系红外窗口系统进行了求解分析.计算结果显示，热应力在两层薄膜上的相对误差分别为1.54%和0.09%，零阶近似可以很好地满足计算精度要求.
%K 多层膜
%K 热应力
%K 简化计算
%U http://lxsj.cstam.org.cn/CN/abstract/abstract144895.shtml