%0 Journal Article %T 多层膜结构热应力计算 %A 刘星 %A 朱嘉琦 %A 韩杰才 %J 力学与实践 %P 453-456 %D 2014 %R 10.6052/1000-0879-14-107 %X 多层保护膜结构在光学窗口等领域有广泛应用,其中膜层中的热应力对系统的功能和可靠性有重要影响.推导了条形多层薄膜结构系统中应力应变的计算方法,并针对薄膜厚度远小于基底厚度的薄膜结构计算进行了相应的简化,得到了其一阶近似以及零阶近似应力的计算公式.采用此公式对ZnS-Y2O3-SiO2双层膜系红外窗口系统进行了求解分析.计算结果显示,热应力在两层薄膜上的相对误差分别为1.54%和0.09%,零阶近似可以很好地满足计算精度要求. %K 多层膜 %K 热应力 %K 简化计算 %U http://lxsj.cstam.org.cn/CN/abstract/abstract144895.shtml