%0 Journal Article
%T 铅基压电薄膜材料的制备、微结构与性能
%A 郑学军
%A 周益春
%A 杨芝茵
%J 力学进展
%P 227-238
%D 2003
%R 10.6052/1000-0992-2003-2-J2002-052
%X 随着微电子技术的发展和高度集成化的趋势，压电薄膜材料愈来愈受到人们的重视.本文对铅基类压电薄膜材料的研究进展进行了评述，主要讨论了(1)两种主要制备方法脉冲激光熔融法(PLD)和溶胶凝胶法(Sol-Gel);(2)压电薄膜微观结构的表征，如畴结构，薄膜材料与大块材料的差别等；(3)压电薄膜材料力学、电学及相互耦合性能的评价参数，薄膜处理过程的相变和残余应力和破坏特征.最后提出了人们可能关注的一些问题.
%K 铅基压电薄膜
%K 脉冲激光法
%K 溶胶凝胶法
%K 微观结构
%K 性能
%U http://lxjz.cstam.org.cn/CN/abstract/abstract132280.shtml