%0 Journal Article
%T 复杂微力－电系统的细微尺度力学
%A 余寿文
%J 力学进展
%P 249-259
%D 1995
%R 10.6052/1000-0992-1995-2-J1995-032
%X 现代高新技术的崛起，提出了大量新的经典力学所不能完全包容的力学问题。这将是现代应用力学发展的巨大动力。微电子技术中微电子材料、器件、系统和微电子－机械系统（ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏ－ｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ，ＭＥＭＳ）所组成的复杂微力－电系统，是跨世纪发展的新科技方向，本文简要介绍了复杂微力，电系统的工业技术背景和发展；综述了这一领域存在的力学问题，主要讨论细微尺度下的结构力学与破坏力学。并评介与展望了这一新的力学领域的研究状况和发展趋势。
%K 多层叠合膜微结构
%K 微电子－机械系统
%K 细微尺度结构力学
%K 细微尺度破坏力学
%U http://lxjz.cstam.org.cn/CN/abstract/abstract132423.shtml