%0 Journal Article
%T 高频感应放电的理论分析
%A 陈允明
%J 力学学报
%P 165-172
%D 1981
%R 10.6052/0459-1879-1981-2-1981-021
%X 本文利用拟渠道模型得到简明的分析表达式,求出了放电特性曲线;定义了高频振荡器的输出特性曲线,并作了计算;且由槽路参数将上述两曲线联系起来,定出工作点。为此可预先对任一种气体及高频机判断放电能否维持;可以讨论对工程实践至关重要的阻抗匹配问题以及功率放大规律;并指出π网络适用于氢等离子体而且得到实验证实。
%U http://lxxb.cstam.org.cn/CN/abstract/abstract138939.shtml