%0 Journal Article
%T 电化反应生成LiTaO3薄膜及器件
%A 刘寓中
%J 科学通报
%P 268-271
%D 1981
%X 热电器件的理论分析指出[1,2],减薄晶片厚度将提高器件性能,从而导致对减薄技术的广泛研究,其中有激光蒸发T.G.S.[3],高频溅射ZnO[4],PZT[5]等等,而最好的热电材料之——LiTaO3已报道用离子束研磨、高频溅射、滚轧淬火等方法获得单晶或多晶薄膜。
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract354420.shtml