%0 Journal Article
%T 利用离子束技术原位制备高温超导薄膜
%A 郝建华
%J 科学通报
%P 1280-1280
%D 1993
%X 超导薄膜是高温超导材料弱电应用的关键技术。目前磁控溅射(包括直流和射频)和激光淀积方法已被广泛应用获得高温超导薄膜。相比这两种常用制膜方法,离子束溅射(IBS)具有独特优势。IBS工作气压很低,靶与衬底间不存在外加电场,减少了薄膜中杂质,消除了普通等离子体溅射方法中负离子反溅射有害效应。同时也不存在激光淀积薄膜均匀性差、薄膜中颗粒较大等缺点,是一种很有发展前途的制膜手段。利用离子束技术后退火制备性能较好的
%K 离子束溅射
%K 原位淀积
%K YBa_2Cu_3O_(7-8)薄膜
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract362007.shtml