%0 Journal Article
%T W/Si,WSi_2/Si和W/TiN纳米多层膜的成膜特性和热稳定性
%A 刘文汉
%J 科学通报
%P 594-594
%D 1994
%X 近20年来,同步辐射光源的迅速发展为软X射线波段提供了性能优良的光源.由于通常的光学反射、透射元件在软X射线波段不能使用,在紫外波段使用的光栅单色器和在X射线波段使用的晶体单色器也由于各自的结构、性质,在软X射线波段的使用受到限制.层厚为纳米量级轻/重元素层(或其他低/高电子密度层)组成的周期性多层膜在软X射线波段可以
%K 多层膜
%K 软X射线
%K 热稳定性
%K 成膜特点
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract363186.shtml