%0 Journal Article
%T 高速率生长c-BN薄膜
%A 廖克俊
%J 科学通报
%P 1184-1184
%D 1995
%X 立方氮化硼(c-BN)类似于金刚石具有许多优异的化学和物理特性,例如它有高硬度(仅次于金刚石)、高热导率、良好的电绝缘性和宽带隙.立方氮化硼的分子结构和金刚石基本上相同,但它有更好的耐氧化性、耐热性和化学稳定性.所以c-BN可广泛用于电子、光学、机械、热沉、光电开关、工具及耐热、耐酸、耐蚀涂层等方面.特别是c-BN和Si单晶之间的晶格失配小于5%,可制备出性能良好的异质外延c-BN,为高温、防辐射和耐腐蚀电子器件的研究
%K c-BN薄膜
%K 直流等离子体CVD
%K 高生长速率
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract363399.shtml