%0 Journal Article
%T Nb/si多层膜中晶态硅化物的相演化
%A 张明
%A 于文
%A 张君
%A 张远仪
%A 王文魁
%J 科学通报
%P 989-992
%D 1996
%K Nb/Si多层膜
%K 硅化物
%K 相演化
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract364039.shtml