%0 Journal Article
%T 多波长激光发射光子集成技术
%A 陈向飞
%A 刘文
%A 安俊明
%A 刘宇
%A 徐坤
%A 王欣
%A 刘建国
%A 纪越峰
%A 祝宁华
%J 科学通报
%P 2119-2126
%D 2011
%X 针对光子集成芯片设计和制造中所面临的难点,对多波长激光发射光子集成芯片中的多波长激光器阵列、单片集成,芯片模块化耦合封装等核心技术进行了阐述.利用重构等效啁啾技术,二次压印模板技术,大幅度放宽光子集成芯片对制备工艺中的苛刻要求,降低了芯片制造成本;通过端对接耦合技术和铟磷基阵列波导光栅技术,解决了有源无源波导的单片集成问题;建立了多端口分析模型,实现了多参量动态特性的测试,提出了寄生参数补偿的封装技术,大幅度提升了芯片性能.
%K 光子集成
%K 激光器
%K 多波长
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract504624.shtml