%0 Journal Article %T 柔性电子喷印制造:材料、工艺和设备 %A 尹周平 %A 黄永安 %A 布宁斌 %A 王小梅 %A 熊有伦 %J 科学通报 %P 2487-2509 %D 2010 %X 喷印技术直接将功能材料沉积到基板上形成图案,有望成为高性能柔性电子的主流制造工艺之一.目前,喷印技术面临材料、工艺和设备等诸多挑战.本文讨论了无机、有机以及纳米复合喷印材料的电学性能,分析了打印性能与黏度、表面张力、蒸发率等关系.压电、热泡等传统喷印可实现微米级分辨率图案化,而电喷涂、电纺丝、电喷印等电流体动力喷印可实现纳米级分辨率图案化,如何通过多场调控提高其喷印过程操控性至为关键.讨论了电流体动力喷印设备实现关键技术,包括液滴操控、喷嘴设计、卷到卷输送等.最后展望了柔性电子喷印制造需研究并解决的关键科学技术问题. %K 柔性电子 %K 纳米制造 %K 有机薄膜晶体管 %K 微/纳图案化 %K 喷印 %K 电流体动力学 %K 卷到卷 %U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract500415.shtml