%0 Journal Article
%T Nb/Si多层膜中晶态硅化物的第一形成相
%A 张明
%A 于文
%A 张君
%A 张远仪
%A 王文魁
%J 科学通报
%P 772-775
%D 1996
%K Nb/si多层膜
%K 硅化物
%K 固态反应
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract364656.shtml