%0 Journal Article
%T 有机薄膜场效应晶体管的研制
%A 邱勇
%A 胡远川
%A 董桂芳
%A 王立铎
%A 高裕弟
%J 科学通报
%P 580-583
%D 2002
%X 采用聚四氟乙烯充当绝缘材料,利用全蒸镀法制备得到了有机薄膜场效应晶体管.源极和漏极采用氧化铟锡,半导体层和绝缘层分别由铜酞菁和聚四氟乙烯充当,栅极采用银电极.在利用光刻制备沟道长度为50μm的源极和漏极后,依次真空沉积铜酞菁层、聚四氟乙烯层和银层,得到器件的电子迁移率为1.1×10-6cm2·(V·s)-1,开关电流比大于500.
%K 有机薄膜晶体管
%K 铜酞菁
%K 聚四氟乙烯
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract368203.shtml