%0 Journal Article
%T 硅球密度绝对测量
%A 罗志勇
%A 赵克功
%A 张继涛
%A 陈赤
%J 科学通报
%P 1281-1289
%D 2012
%R 10.1360/972011-1710
%X 单晶硅球密度的绝对测量是阿伏加德罗常数测量的关键技术,是目前国际热点研究领域.本文综述了包括我国在内的国际单晶硅球密度测量的最新进展,涉及硅球密度测量的技术原理、测量领域、影响因素、测量装置及最佳测量能力等,分析了硅球密度测量的主要难点和关键技术,预测了相关研究的技术前景及发展趋势.
%K 阿伏加德罗常数
%K 硅球密度
%K 相移干涉法
%K 氧化层厚度
%K 精密测量
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract507511.shtml