%0 Journal Article %T 杯形砂轮磨削氮化硅陶瓷表面形貌 %A 王少雷 %A 林彬 %A 王岩 %A 曹晓燕 %A 张晓峰 %J 科学通报 %P 316-321 %D 2015 %R 10.1360/N972014-00460 %X 磨削参数对工件表面加工质量有重要影响.杯形砂轮大切深缓进给端面磨削方法是一种高效、高精度硬脆材料加工方法.本文研究了利用此加工方法加工氮化硅陶瓷材料时,磨削深度参数与加工表面形貌之间的关系.利用一种非接触式白光干涉仪对工件表面形貌进行了测量和分析,发现随着磨削深度的增大,表面粗糙度无明显变化,而表面波纹度则受到显著影响. %K 表面形貌 %K 杯形砂轮 %K 大切深缓进给磨削 %K 粗糙度 %K 波纹度 %U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract515937.shtml