%0 Journal Article
%T 光学薄膜微细结构制造方法新进展
%A 易培云
%A 彭林法
%A 来新民
%J 科学通报
%P 2707-2718
%D 2015
%R 10.1360/N972014-01365
%X 带有表面微细结构的光学薄膜可有效提高出光效率或光线利用率,有望大规模应用于柔性显示器和薄膜太阳能电池等光学器件.这类三维功能结构尺度在微米或亚微米范畴,其形状精度、结构缺陷、残余应力等几何特性和物理性能综合影响光学薄膜质量.紫外光固化(UVcuring)和热压印(hotembossing)成形是光学薄膜微细结构制造的主要方法.本文综述了两种制造方法的主要进展,包括成形工艺、模具制造和成形装备等,这些研究成果的获得对光学薄膜的设计与制造具有重要意义.目前,尚需进一步阐明制造过程中材料流动规律和缺陷形成机理,形成控形控性新方法,指导光学薄膜微细结构的高效、高精度制造.
%K 光学薄膜
%K 微细结构
%K 紫外光固化
%K 热压印
%K 卷对卷
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract518138.shtml