%0 Journal Article
%T 硅衬底上制备4H-SiC择优取向膜的一种新方法
%A 傅正平
%A 杨碚芳
%A 刘如川
%A 阮耀钟
%J 科学通报
%P 2347-2348
%D 1998
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract365859.shtml