%0 Journal Article
%T 在辉光放电中八氟环丁烷聚合与刻蚀的竞争历程的研究
%A 叶牧
%J 科学通报
%P 680-680
%D 1985
%X 在辉光放电中碳氟化合物存在聚合(polymerization)与刻蚀(ablation)两种相反的过程,两者竞争结果对聚合膜的淀积速率、结构和性能均有影响。一般认为,在辉光放电中,全氟烷烃以刻蚀为主;全氟烯烃以聚合为主。全氟环烷烃的氟碳比与全氟烯烃相同,但具有饱和性,兼有全氟烷烃与全氟烯烃的某些特性。对全氟环烷烃等离子体聚合与刻蚀的竞争历程研究尚
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract357001.shtml