%0 Journal Article
%T 通孔结构阳极氧化铝湿敏传感器的制备与性能表征
%A 凌志远
%A 陈烁烁
%A 王金池
%A 李屹
%J 科学通报
%P 1396-1399
%D 2007
%X 以0.5mol/L草酸为电解液,在40V直流电压、0~5℃下采用二步氧化法制备通孔阳极氧化铝膜片,用射频磁控溅射在膜片上下表面沉积金电极,成功地制备了一种通孔结构湿敏传感器.湿度-阻抗特性测试显示,该传感器不但可在12%~97%的相对湿度范围内具有良好的阻抗-湿度线性变化关系,而且具有响应恢复速度快、重复稳定性好的特征.
%K 湿敏传感器
%K 阳极氧化铝
%K 多孔电极
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract370558.shtml