%0 Journal Article
%T 超导量子比特中铝超导隧道结的性能
%A 沈丹丹
%A 朱冉
%A 许伟伟
%A 常俊杰
%A 吉争鸣
%A 孙国柱
%A 曹春海
%A 陈健
%J 科学通报
%P 2923-2927
%D 2011
%X 超导隧道结约瑟夫森结是超导量子比特的基本元件.用双层光刻胶构成悬空掩模,用电子束斜蒸发的方法制备Al/Al2O3/Al隧道结,用一定的氧气气压氧化铝膜作为势垒层.势垒层质量直接影响铝超导隧道结的各项电学参数.深入研究了铝超导隧道结的超导临界电流密度Jc和面积归一化电阻Rc(正常态电阻RN与结面积的乘积)与势垒层生长条件的关系,通过改变势垒层生长的氧分压与氧化时间来控制铝超导隧道结的Jc和Rc,以使此工艺所制备的铝隧道结漏电流小,结参数易于控制,满足制备超导量子比特的要求.
%K Al/Al2O3/Al
%K 超导隧道结
%K 电子束蒸发
%K 超导量子比特
%U http://csb.scichina.com:8080/CN/abstract/abstract505612.shtml