%0 Journal Article
%T 斜入射溅射Ni-7Cr-8Al涂层及其表面热生长氧化膜组织结构表征
%A 朱圣龙
%A 曹硕
%A 李淑梅
%A 张春刚
%A 谢冬柏
%A 王文
%A 辛丽
%A 王福会
%J 腐蚀科学与防护技术
%P 86-90
%D 2008
%X 研究了1Cr18Ni9Ti不锈钢基体上斜入射溅射Ni-7Cr-8Al涂层及其在1000℃空气中形成的氧化膜的组织结构.涂层采用Ni-7Cr-8Al合金靶磁控溅射方法制备.沉积过程中样品静止不动，名义入射角分别为0°和45°.这两种样品在本文中分别称为正入射和斜入射沉积涂层.研究结果表明两种涂层的晶体结构均为f.c.c.γ-Ni，并且都具有典型的柱状晶组织结构，所不同的是，正入射沉积涂层的柱状晶垂直表面，斜入射涂层的柱状晶与法线间的角度大约为32°，并且后者看起来较疏松.在1000℃空气中50h内，正入射沉积Ni-7Cr-8Al涂层表面可形成纯α-Al2O3保护性氧化膜，斜入射涂层氧化行为较复杂.氧化10h后的涂层表面为均匀致密的α-Al2O3氧化物；氧化20h后氧化膜主要为等轴晶形状Fe2O3和NiCrO3，此外还有很多尺寸为几微米的小孔；氧化50h后，氧化物发生大面积剥落，氧化膜内有大量孔洞，残留的表面氧化物主要由Fe2O3和NiCrO3组成.
%K 磁控溅射
%K Ni-Cr-Al
%K 氧化膜
%U http://www.cspt.org.cn/CN/abstract/abstract905.shtml