%0 Journal Article
%T 氧化铟锡透明导电电极的刻蚀研究
%A 翟莲娜
%A 周化岚
%A 李小慧
%A 顾哲明
%A 陈亮
%J 腐蚀科学与防护技术
%P 41-44
%D 2014
%R 10.11903/1002.6495.2013.014
%X 研制了一种可用于氧化铟锡(ITO)透明电极的刻蚀液，研究了其刻蚀效果，并推断刻蚀机理。选用不同pH值的FeCl3水溶液作为刻蚀功能成分，将PEG10000作为介质，以气相SiO2为触变剂制备刻蚀液，用丝网印刷法对ITO电极进行刻蚀实验，研究了不同刻蚀条件对刻蚀效果及ITO电极体积电阻率的影响。结果表明，pH值为1.67时，于80℃，90min后ITO薄膜的刻蚀效果最优。通过EDS表征ITO电极元素的变化，用原子力显微镜(AFM)观察电极微观形貌的变化。
%K 氧化铟锡
%K (ITO)
%K 湿法刻蚀
%K 丝网印刷
%U http://www.cspt.org.cn/CN/abstract/abstract21974.shtml