%0 Journal Article %T CMOS器件单粒子效应电荷收集机理 %A 董刚 %A 封国强 %A 陈睿 %A 韩建伟 %J 北京航空航天大学学报 %P 839-843 %D 2014 %R 10.13700/j.bh.1001-5965.2013.0435 %X 针对90nmCMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor)工艺,采用三维数值模拟方法,研究了反相器中NMOS(Negativechannel-Metal-Oxide-Semiconductor)晶体管与PMOS(Positivechannel-Metal-Oxide-Semiconductor)晶体管的单粒子瞬变(SET,SingleEventTransient)电流脉冲,深入分析了PMOSFET(Positivechannel-Metal-Oxide-SemiconductorField-EffectTransistor)与NMOSFET(Negativechannel-Metal-Oxide-SemiconductorField-EffectTransistor)发生单粒子效应时电荷输运过程和电荷收集机理.研究结果表明,由于电路耦合作用,反相器中晶体管的电荷收集与单个晶体管差异显著;反相器中PMOS晶体管电荷收集过程中存在寄生双极放大效应,NMOS晶体管中不存在寄生双极放大效应;由于双极放大效应,90nm工艺下PMOS晶体管产生的SET电压脉冲比NMOS晶体管产生的电压脉冲持续时间更长,进而导致PMOS晶体管的SET效应更加敏感.研究结果为数字电路SET的精确建模、进行大规模集成电路SET效应模拟提供了参考依据. %U http://bhxb.buaa.edu.cn/CN/abstract/abstract12959.shtml