%0 Journal Article
%T 有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究
%A 李林瑛
%A 胡静涛
%J 控制与决策
%P 37-43
%D 2011
%X 针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了临时晶圆到达时的在线调度问题,描述了调度问题域,建立了问题的数学模型,并根据模型提出了两层调度方法.外层算法通过粒子群优化过程求解临时晶圆的加工顺序;内层算法在给定加工顺序的基础上,采用前向和后向递推方法获得可行解空间,并从可行解空间获得最优完工时间.从理论上证明了算法的可行性,并通过仿真结果表明,该方法对求解大规模临时晶圆的调度问题是十分有效的.
%K 半导体制造
%K 集束型装备
%K 在线调度
%K 粒子群优化算法
%K 滞留时间约束
%K 临时晶圆
%U http://www.kzyjc.net:8080/CN/abstract/abstract11457.shtml