%0 Journal Article %T 金刚石薄膜的快速沉积及成膜研究 %A 阎震 %A 李荣志 %A 朱鹤孙 %J 化工学报 %P 611-616 %D 1991 %X 本文采用直流电弧等离子体喷射法制备金刚石薄膜,对其进行了拉曼光谱及扫描电镜分析.并介绍了几种实验中常见的晶形.最后对金刚石的形成过程作了初步探讨. %U http://www.hgxb.com.cn/CN/abstract/abstract5273.shtml