%0 Journal Article
%T 化学气相淀积反应器中成核与成膜控制
%A 李春忠
%A 胡黎明
%A 袁渭康
%A 陈敏恒
%J 化工学报
%P 523-530
%D 1993
%X 基于气溶胶动力学和化学反应动力学,建立了化学气相淀积(CVD)反应器中普适动力学方程,导出了CVD反应器中超细颗粒粒径分布谱函数和薄膜淀积速率的计算方法;研究了操作参数对钛酸丁酯高温裂解过程中成核与成膜的影响.用成核与成膜竞争判据——H准数,研究了CVD反应器中成核与成膜的控制策略.
%U http://www.hgxb.com.cn/CN/abstract/abstract5859.shtml