%0 Journal Article
%T 基于热学理论的微型真空检测器件的研究
%A 刘川
%A 汪学方
%A 罗小兵
%J 工程热物理学报
%P 1553-1556
%D 2011
%X 介绍了一种基于热学知识设计的表面薄膜微型MEMS皮拉尼计,并将其用于圆片级真空封装腔体的真空度测量中。为了设计灵敏度较高的皮拉尼计,对不同结构的皮拉尼计的热量分布进行了数值计算与分析,并最终完成了加工。此皮拉尼计的结构和加工工艺比较简单,能用于一般的MEMS真空封装中。实验结果显示该皮拉尼计可以测量1～10~5Pa的真空度,并在1～1000Pa内有很好的线性度。
%K MEMS
%K 皮拉尼计
%K 圆片级真空封装
%K 真空度测试
%U http://jetp.iet.cn/CN/abstract/abstract6622.shtml