%0 Journal Article %T 亚微米DSOIMOSFET非平衡热电耦合模拟 %A 段传华 %A 梁新刚 %J 工程热物理学报 %P 1010-1012 %D 2005 %X 本文利用电子-光学声子-声学声子散射非平衡能量热电耦合模型数值模拟了DSOIMOSFET,得到了器件静电势、电子浓度和温度分布、声子温度等分布,分析了其热电性质。结果表明在栅极靠漏区是器件热电特性变化最为显著,DSOI器件自热效应很小,具有很好的热电特性,在亚微米器件中的确存在非平衡能量状态。 %K DSOI %K MOSFET %K 亚微米 %K 非平衡 %K 热电耦合 %U http://jetp.iet.cn/CN/abstract/abstract5092.shtml