%0 Journal Article
%T 内置式微型电液动力泵的研究
%A 于翮
%A 孙翠霞
%A 俞坚
%J 工程热物理学报
%P 1743-1745
%D 2008
%X 本文介绍了一种新型电子冷却技术—微型电液动力泵的工作原理,并且运用了MEMS技术,在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵.采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研究,取得良好效果.
%K 电子冷却
%K 微型电液动力泵
%K 传热
%U http://jetp.iet.cn/CN/abstract/abstract3769.shtml