%0 Journal Article
%T 行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟
%A 左然
%A 张红
%A 刘祥林
%J 工程热物理学报
%P 671-673
%D 2005
%X 针对三重进口行星式CVD反应器的输运过程进行了二维数值模拟研究。通过改变反应腔几何尺寸、导流管位置、三重进口流量组合、压强、温度等条件,研究反应器内对流涡旋的相应变化。根据模拟结果,对这类反应器中输运现象与外部参数的关系,特别是反应腔内对流涡旋的产生和发展作了较全面的分析和讨论,给出了抑制对流涡旋、获得薄膜生长所需的最佳输运过程的条件。
%K 化学气相沉积
%K 输运过程
%K 热对流
%K 数值模拟
%U http://jetp.iet.cn/CN/abstract/abstract4988.shtml