%0 Journal Article
%T 微热板的热测试和热分析
%A 顾毓沁
%A 张荣海
%A 朱德忠
%A 孙晓毅
%A 阎桂珍
%A 唐祯安
%A PhilipC.H.Chan
%A JohnnyK.O.Sin
%A I-MingShing
%J 工程热物理学报
%P 226-228
%D 2001
%X （1）随着近代高新技术的发展，要求各种探测器微型化。微加工技术的进步，使得微器件制造有了可能，于是微传感器就应运而生了。微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。它的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能，为些微热板的热测试和热分析成为微传感器的研制、使用和评价所必不可少的工作。（2）本文针对研制中的气体传感器的微热板，用红外热成象技术进行热测试和分析，获得气体传感器微热板的微波区域的温度分布，为传感器的研制提供了可靠的依据。
%K 微热板
%K 传感器
%K 红外热成像
%K 温度分布
%U http://jetp.iet.cn/CN/abstract/abstract6667.shtml