%0 Journal Article
%T 镱薄膜传感器压阻灵敏度的研究
%A 滕林
%A 杨邦朝
%A 杜晓松
%A 周鸿仁
%A 崔红玲
%A 肖庆国
%J 高压物理学报
%P 90-93
%D 2004
%R 10.11858/gywlxb.2004.01.016
%X 采用真空蒸发工艺制备镱薄膜传感器，在小于1GPa压力范围内对未经任何处理和300℃真空热处理1h两组镱薄膜传感器进行准静态加载标定，后者的压阻系数明显高于前者，并且大于箔式镱传感器的压阻系数，结合扫描电镜和电学性能测试分析，发现热处理有助于薄膜晶粒长大，降低薄膜电阻率，从而提高了镱薄膜传感器的压阻灵敏度。XRD测试分析结果表明，加压有促使薄膜晶粒长大的趋势。镱薄膜传感器制作工艺简单、性能稳定，在工业中具有广泛的用途。
%K 镱薄膜
%K 传感器
%K 准静态加载
%K 压阻系数
%K 热处理
%K XRD谱
%U http://www.gywlxb.cn/CN/abstract/abstract535.shtml