%0 Journal Article
%T 金刚石厚膜的微结构研究
%A 姜志刚
%A 冯玉玲
%A 郑涛
%A 李红东
%A 李博
%A 郑艳彬
%A 林志伟
%J 高压物理学报
%P 265-268
%D 2008
%R 10.11858/gywlxb.2008.03.007
%X 采用直流辉光等离子体化学气相沉积金刚石厚膜，利用氢的微波等离子体对抛光的金刚石厚膜截面进行刻蚀，用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱仪研究了金刚石厚膜的微结构及杂质、缺陷的分布。结果表明：杂质、空洞主要富集在晶界处；在金刚石膜的生长过程中，随着甲烷流量的增加，晶界密度、空洞、晶粒内部缺陷、杂质含量逐渐增加，晶界的排列从以纵向为主过渡到网状结构。
%K 金刚石厚膜
%K 等离子体刻蚀
%K 生长特性
%K 晶界
%U http://www.gywlxb.cn/CN/abstract/abstract115.shtml