%0 Journal Article
%T 射频磁控溅射TiO2/HA复合生物膜的制备与表征
%A 陈民芳
%A 刘技文
%A 王玉红
%A 由臣
%A 杨贤金
%J 复合材料学报
%P 52-56
%D 2003
%X 将水热合成的羟基磷灰石(HA)粉与20wt%Ti粉混合,冷压烧结成靶材。采用射频磁控溅射方法,在工业纯钛基体上沉积TiO2/HA生物薄膜,通过扫描电镜(SEM)及其能谱(EDS)、X射线衍射(XRD)和差热分析仪(TDA)对膜层进行了表征,探讨了溅射膜的晶化工艺。结果表明:由于选择溅射和OH-损失,溅射膜由TiO2晶体颗粒和非晶钙磷化合物组成,且其Ca/P比降低。经700℃,0.5h水蒸气处理,非晶钙磷化合物结晶度大大提高,并部分转化为HA晶体,且处理后的溅射膜与基体间无裂纹。
%K 射频磁控溅射
%K TiO2/HA复合薄膜
%K 非晶钙磷化合物
%K 晶化
%K 水蒸气处理
%U http://fhclxb.buaa.edu.cn/CN/abstract/abstract9293.shtml