%0 Journal Article
%T 基底温度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响
%A 李爱侠
%A 孙大明
%A 孙兆奇
%A 宋学萍
%A 赵宗彦
%J 复合材料学报
%P 22-26
%D 2004
%X 用电子薄膜应力分布测试仪测量了基底温度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响。结果表明:基底温度在300℃~400℃范围内,φ20.4mm选区内的薄膜平均应力最小,应力分布比较均匀,应力为张应力。XRD分析表明:当基底温度在300℃~400℃范围内,Ag-MgF2薄膜中的Ag和MgF2组分的晶格常数接近块体值,说明通过改变基底温度可以降低薄膜内应力。
%K Ag-MgF2金属陶瓷薄膜
%K 应力
%K 基底温度
%K 微结构
%U http://fhclxb.buaa.edu.cn/CN/abstract/abstract9187.shtml