%0 Journal Article
%T 电感耦合等离子体系统的漂移与监控
%A 刘文龙
%A 张国庆
%A 刘臣辉
%J 扬州大学学报(农业与生命科学版)
%D 1996
%X ？？？？对影响电感耦合等离子体系统稳定性的射频功率、氩气流速、进样条件等因素进行了考察，提出了判断和减小ＩＣＰ系统漂移的方法。
%K 电感
%K 耦合
%K 等离子体
%K 漂移
%U http://zjzy.yzu.edu.cn/ydxb-detal.php?id=ny19960326