%0 Journal Article
%T 多氟代季戊四芳醚的合成及其在低介电薄膜中的应用有机化学
%A 周峥嵘
%A 丁宗彪
%A 王全瑞
%A 李峰
%A 陶凤岗
%A 徐伟
%A 夏炎
%A 章壮健
%A 华中一
%J 有机化学
%P 787-789
%D 2000
%X 合成了六个多氟代季戊四芳醚类化合物，并且对部分化合物掺杂于SiO~2薄膜的介电性质进行了研究。当氟原子掺杂浓度(F/Si)为1%时，薄膜介电常数K值小于3。
%K 季戊四芳醚
%K 有机氟化合物
%K 季戊四醇P
%K 氟代烃
%K 薄膜
%K 氟
%K 二氧化硅
%K 掺杂
%K 介电常数
%U http://sioc-journal.cn/Jwk_yjhx/CN/abstract/abstract333674.shtml