%0 Journal Article
%T Pel赤culas delgadas de CNx formadas por PLD a diferentes temperaturas
%A Jorge Luis Gallego Cano
%A Deisy Ram赤rez Vinasco
%A Henry Riascos Land芍zuri
%A Leonid Ipaz
%J Ingenier赤a y Desarrollo
%D 2011
%I Universidad del Norte
%X Pel赤culas delgadas de nitruro de carbono (CNx) fueron formadas por la t谷cnica de dep車sito por l芍ser pulsado (PLD, siglas en ingl谷s). Para la ablaci車n incidi車 sobre la superficie del blanco de grafito pirol赤tico (99.999% de pureza) un l芍ser Nd:YAG (1064 nm, 500 mJ), cuya fluencia del haz se mantuvo a un valor de 10 J cm-2. Las pel赤culas se formaron sobre sustratos de Si (100) y en una atm車sfera de nitr車geno, y a tres valores diferentes de temperatura del sustrato (21, 50 y 200∼ C). Durante el crecimiento de estas pel赤culas se mantuvo la presi車n del gas ambiente constante (2,66 Pa). Tambi谷n se analizaron las propiedades mec芍nicas y qu赤micas de las pel赤culas mediante microscopia de fuerza at車mica (AFM, por sus siglas en ingl谷s), espectroscopia infrarroja (FTIR), energ赤a dispersiva de rayos X (EDX) y nanoindentaci車n. El an芍lisis de FTIR revela la presencia de modos activos alrededor de 1108 cm-1, 1465 cm-1, 2270 cm-1, asociados a enlaces simples, dobles y triples de CN, respectivamente. Por medio de EDX, se estudi車 la composici車n qu赤mica de las muestras, encontr芍ndose bajos contenidos de nitr車geno, con una variaci車n entre el 3 y 6 %at. Las propiedades mec芍nicas fueron evaluadas mediante la t谷cnica de nanoindentaci車n. La mayor dureza de las muestras fue de 14 GPa, obtenida para la muestra formada a una temperatura del sustrato de 200o C.
%U http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=85222642005