%0 Journal Article %T Evaluaci車n de la resistencia a la corrosi車n de multicapas de Cr/CrN depositadas con UBM Evaluating the corrosion resistance of UBM-deposited Cr/CrN multilayers %A Chipatecua Godoy Yuri Lizbeth %A Marulanda Cardona Diana Maritza %A Olaya Fl車rez Jhon Jairo %J Ingenier赤a e Investigaci車n %D 2011 %I Universidad Nacional de Colombia %X En este art赤culo se eval迆a la resistencia a la corrosi車n de los recubrimientos en multicapa de Cr/CrN depositados mediante la t谷cnica de sputtering con magnetr車n desba-lanceado, UBM. Los recubrimientos se produjeron a tem-peratura ambiente, con corriente de descarga de 400 mA y flujos de Ar de 9 sccm y de N2 de 3 sccm. El espesor total de los recubrimientos depositados sobre los sustratos de acero inoxidable AISI 304 y silicio (100) se vari車 entre 0,2 y 3 米m, al igual que el periodo de la bicapa, que estuvo entre 20 y 200 nm. La microestructura y compo-sici車n qu赤mica de los recubrimientos se analiz車 por medio de microscop赤a electr車nica de barrido (SEM), y la textura y fases cristalinas con difracci車n de rayos X (XRD), antes y despu谷s de las pruebas de corrosi車n, las cuales se rea-lizaron con ensayos de polarizaci車n potenciodin芍mica empleando una soluci車n de 0,5M H2SO4 + 0,05M KSCN. Los recubrimientos con menor per赤odo de la bica-pa presentaron la mejor resistencia a la corrosi車n y su mecanismo de corrosi車n se discute en este estudio. This work was aimed at evaluating the corrosion resistance of multilayer Cr/CrN coatings deposited by the unbalan-ced magnetron sputtering (UBM) technique. Coatings were produced at room temperature using 400 mA discharge current, 9 sccm argon flow and 3 sccm nitrogen flow. The total thickness of coatings deposited on AISI 304 stainless steel and silicon (100) varied between 0.2 a 3 米 %K sputtering con magnetr車n desbalancea-do %K polarizaci車n potenciodin芍mica %K pel赤culas delgadas %K resistencia a la corrosi車n %K Cr/CrN. %U http://revistas.unal.edu.co/index.php/ingeinv/article/view/20515