%0 Journal Article
%T The corrosion resistance and microstructure of UBM system-deposited NbxSiyNz thin films Resistencia a la corrosi車n y microestructura de recubrimientos de NbxSiyNz depositadas con el sistema UBM
%A Velasco Estrada Leonardo
%A Olaya Florez Jhon Jairo
%A Rodr赤guez Baracaldo Rodolfo
%J Ingenier赤a e Investigaci車n
%D 2012
%I Universidad Nacional de Colombia
%X NbxSiyNz thin film nanostructure was grown using the unbalanced magnetron sputtering (UBM) technique with varying Si content. Corrosion resistance was evaluated by potentiodynamic polarisation technique in a 3% NaCl solution. Microstructure was analysed by X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM) and laser scanning microscopy. Chemical composition was ascer-tained by X-ray fluorescence (XRF) technique. The results showed that deposition rates increased with higher Si content. A micro-structural change was observed for greater than 5% Si content through the transition from a crystalline to an amorphous structure in the thin films. Corrosion test results demonstrated that the thin films having the highest silicon content had better corrosion resistance. En este trabajo se produjeron recubrimientos nanoestructurados de NbxSiyNz sobre acero inoxidable AISI 304 mediante la t谷cnica del UBM (unbalanced magnetr車n - sputtering con magnetr車n desbalanceado), variando el contenido de Si, y se evalu車 su resis-tencia frente al fen車meno corrosivo por medio de la t谷cnica de polarizaci車n potenciodin芍mica en una soluci車n al 3% de NaCl. La microestructura de los recubrimientos se analiz車 por medio de XRD (X ray diffraction - difracci車n de rayos X), SEM (scanning electron microscopy - microscopia electr車nica de barrido) y microscopia l芍ser confocal. La composici車n qu赤mica se identific車 con la t谷cni-ca XRF (X ray fluorescence - fluorescencia de rayos X). Como resultado las tasas de dep車sito se incrementaron con la adici車n de Si, adem芍s se observ車 un cambio en la microestructura para contenidos superiores a 5% de Si, mediante la transici車n de un recubri-miento cristalino a amorfo. Finalmente, los resultados de corrosi車n sugieren que los recubrimientos con un alto contenido de silicio tienen un mejor comportamiento frente a la corrosi車n del sistema.
%K Corrosion
%K diffraction
%K spectroscopy
%K fluorescence
%K microstructure
%K microscopy
%K race track
%K x ray
%K thin film
%K sputtering
%K polarisation
%U http://www.revistas.unal.edu.co/index.php/ingeinv/article/view/35932