%0 Journal Article
%T Dep車sito de capas de nitruro de carbono mediante ablaci車n l芍ser
%A Soto
%A R.
%A Gonz芍lez
%A P.
%A Pou
%A J.
%A Le車n
%A B.
%J Revista de Metalurgia
%D 1998
%I Consejo Superior de Investigaciones Cient赤ficas
%X The preparation of carbon nitride thin films by ablation of different target compounds (graphite, guanazole) in a reactive atmosphere of ammonia with an ArF excimer laser (193 nm) is reported. The films were deposited on different substrates (silicon wafers and aluminium plates) and were analysed with different techniques such as profilometry, Fourier transform infrared (FTIR) and energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX). For both targets, a comparative study of the influence of the ammonia total pressure on the growth rate, composition and properties of the obtained material has been done. A gradual nitrogen incorporation in the films with increasing ammonia pressure and also the presence of nitrogen bonded to carbon in different configurations (simple, double and/or triple bonds) was observed. The use of guanazole targets leads to higher efficiency in the nitrogen incorporation and in the formation of simple C-N bonds. Se presenta la preparaci車n de capas finas de nitruro de carbono mediante la ablaci車n de diferentes tipos de blancos (grafito, guanazol) en una atm車sfera reactiva de amoniaco utilizando un l芍ser de exc赤mero de ArF (193 nm). Las capas se han depositado sobre diferentes soportes (obleas de silicio y aluminio) y se han analizado empleando t谷cnicas de caracterizaci車n b芍sicas como la espectroscopia infrarroja mediante transformada de Fourier (FTIR), espectroscopia de rayos X por dispersi車n de energ赤a (EDX) y perfilometr赤a. Se ha realizado, para los dos blancos utilizados, un estudio comparativo de la influencia de la presi車n total de amoniaco en la velocidad de dep車sito, composici車n y propiedades del material obtenido. Se ha observado en ambos casos la progresiva incorporaci車n de nitr車geno en las capas con el aumento de la presi車n de amoniaco, estando el nitr車geno enlazado al carbono en diferentes configuraciones (enlaces simples, dobles y/o triples). La utilizaci車n del blanco de guanazol se muestra m芍s eficiente en la incorporaci車n de nitr車geno en las capas y en la formaci車n de enlaces simples de C-N.
%K L芍ser ablation
%K Carb車n nitride
%K Ammonia photodissociation
%K Excimer laser
%K Thin films
%K Ablaci車n l芍ser
%K Nitruro de carbono
%K Fotodisociaci車n de amoniaco
%K L芍ser de exc赤mero
%K Capas delgadas
%U http://revistademetalurgia.revistas.csic.es/index.php/revistademetalurgia/article/view/667/679