%0 Journal Article
%T Micromachining of Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-TiC ceramics by excimer laser
%A Oliveira
%A V.
%A Vilar
%A R
%A Conde
%A O.
%J Revista de Metalurgia
%D 1998
%I Consejo Superior de Investigaciones Cient¨ªficas
%X Micromachining of Al2O3-TiC ceramic using a KrF excimer laser was studied in the fluence range 2 to 8 J/cm2 . The ablation rate decreases and the roughness increases with the first pulses but after about 200 pulses the process reaches a stationary stage where both roughness and ablation rate become constant. Observation of the processed areas by scanning electron microscopy showed that a globular topography is formed during the first stage and that the surface topography remains unchanged with further pulses. This globular topography is responsible for the variation of roughness and ablation rate observed during the first stage. EDS analysis showed that the globular features present an external region with higher titanium content and a core formed of unaffected material. Se estudia el micromecanizado de cer¨¢micas Al2O3-TiC mediante un l¨¢ser de exc¨ªmero de KrF con un rango de fluencia de 2 a 8 J/cm2 . La velocidad de ablaci¨®n disminuye y la rugosidad aumenta con los primeros pulsos. Sin embargo, despu¨¦s de 200 pulsos, el proceso alcanza el r¨¦gimen estacionario, donde tanto la rugosidad como la velocidad de ablaci¨®n permanecen constantes. La observaci¨®n mediante SEM de determinadas ¨¢reas mostraban una topograf¨ªa globular formada durante la primera etapa, mientras que con los siguientes pulsos permanece in cambios. Esta topograf¨ªa globular es responsable de la variaci¨®n de rugosidad y de la velocidad de ablaci¨®n observada durante las primeras etapas del proceso. Los an¨¢lisis de EDS sobre las zonas globulares mostraron la existencia de una regi¨®n externa rica en titanio y un n¨²cleo formado por el material sin afectar.
%K Excimer laser
%K Micromachining
%K Ablation
%K Ceramics
%K Al2O3-TiC
%K L¨¢ser de exc¨ªmero
%K Micromecanizado
%K Ablaci¨®n
%K Cer¨¢micas
%K Al2O3-TiC
%U http://revistademetalurgia.revistas.csic.es/index.php/revistademetalurgia/article/view/691/703