%0 Journal Article
%T Penumbuhan Nanopartikel Nikel Dengan DC- Unbalanced Magnetron Sputtering
%A Patricia Lubis
%A Altje Latununuwe
%A Toto Winata
%J Jurnal Nanosains & Nanoteknologi
%D 2009
%I 
%X Nanopartikel nikel telah ditumbuhkan diatas substrat silikon dengan DC-Unbalanced Magnetron Sputtering. Parameter deposisi penumbuhan nanopartikel nikel adalah pada tekanan 4 x 10-1 Torr, suhu deposisi 150 oC, laju aliran gas Argon 77,3 sccm. Variasi waktu penumbuhan adalah 10 menit, 5 menit, 1 menit dan 15 detik. Kemudian nanopartikel nikel dianealling selama 4 jam. Karakterisasi nanopartikel nikel menggunakan Scanning Electron Microscopy (SEM), Energy Dispersive Analysis X-Ray (EDX). Diameter nanopartikel nikel mengalami penurunan seiring dengan berkurangnya waktu deposisi.
%U http://ijp.fi.itb.ac.id/index.php/nano/article/view/270/263