%0 Journal Article
%T 超硬纳米多层膜和复合膜的研究综述
%A 白晓明
%A 郑伟涛
%A 安涛
%J 自然科学进展
%D 2005
%I 
%X 综述了近年来纳米多层膜和复合超硬涂层研究的最新进展,分析了Ti/TiN、氮化物/氮化物多层膜和Ti-Si-N及Ti-Al-Si-N系复合膜的最新研究现状,详述了纳米多层膜和复合超硬涂层的致硬机理和设计方法,展望了今后纳米多层膜和复合超硬涂层的研究方向.
%K 纳米
%K 多层膜
%K 复合膜
%K 超硬
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=01BA20E8BA813E1908F3698710BBFEFEE816345F465FEBA5&cid=96E6E851B5104576C2DD9FC1FBCB69EF&jid=504AF8C1E5476CA7C4EC9DF6FEAC14AC&aid=82EC0EEF1D392909&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=23CCDDCD68FFCC2F&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=659D3B06EBF534A7&eid=D3E34374A0D77D7F&journal_id=1002-008X&journal_name=自然科学进展&referenced_num=6&reference_num=53